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當前位置：上海添時科學儀器有限公司>>管式爐>>PECVD系統>> OTF-1200X-S-Ⅱ-R-4CV-PE1200℃等離子增強小型PECVD回轉爐系統
1、射頻電源可實現等離子增強從而顯著降低實驗溫度；
2、齒輪驅動管式爐旋轉可有效地提高復合粉末熱處理的均勻性;
3、4通道質子流量計控制系統可以對氣體的輸送進行精確的調控;
4、爐體開啟式設計，以達到對樣品快速降溫，方便更換爐管。
1200℃等離子增強小型PECVD回轉爐系統參數：
工作電源：
•輸入電壓：AC208-220V，50/60Hz
•總功率：<4KW
加熱爐參數：
•最高溫度：1100℃(<30min)；連續工作溫度：1000℃;
•兩個PID溫度控制器及30段可編程溫控系統，控溫精度：±1℃;
•工作電壓：110V；
•額定功率：1.5KW；
•回轉爐旋轉速度：0-5rpm。
射頻電源：
真空系統：
•·采用TRP-12的雙旋真空泵；
•KF25卡箍及波紋管用于連接管式爐與真空泵；
•真空度可達10-2Torr。
供氣系統(可選)：
•客戶可選購四通道質子流量計控制系統實現氣體流量的精確控制(精確度：±0.02%);
•流量范圍：
•氣體進出口配件：6mmOD的聚四氟管或不銹鋼管;
•不銹鋼針閥用于手動控制氣體進出
•PLC觸摸屏可以簡便地進行氣體流量設置
循環水冷機：
標配KJ-5000循環水冷機，水流速率：16L/min
產品尺寸和重量：
尺寸：1400mmL-600mmW-1240mmH
凈重：90Kg
承諾：
一年保質期，終身維護，不包括爐管，硅膠密封圈和加熱元件
